XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光栅尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍镜头)
英制单位 公制单位
测量范围 12" X6"X6" 300X150x150毫米
尺寸 28.3" X30.5"X38.3" 720X775X873毫米
负载 25kg
台面分辨率 0.5um
光学 双重放大 (物镜)
低倍 0.8 1.0 2.5 5.0 10.0 25.0
高倍 3.2 4.0 10.0 20.0 40.0 100.0
标配镜头 1X
可选镜头 0.8X,2.5X,5X
照明 LED 背光,LED 同轴面光
可选特征 多色可编程环形光 (PRL)
Ronchi 栅格自动ju jiao
TTL 激光
旋转分度工作台